一种外延生长用石墨盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520765705.2

申请日：

2015-09-30

公开(公告)号：

CN205046194U

公开(公告)日：

2016-02-24

发明(设计)人：

林继宏林兓兓张家宏

申请人：

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C30B2512

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-24	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[2]

外延生长用石墨承载盘 [P].

谢祥彬 ;

刘兆 ;

刘恒山 ;

宋长伟 .

中国专利 :CN203839356U ,2014-09-17

[3]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[4]

碳化硅外延生长用石墨盘基座 [P].

钮应喜 ;

左万胜 ;

郗修臻 ;

张晓洪 ;

刘锦锦 ;

刘洋 ;

史田超 ;

章学磊 .

中国专利 :CN211005719U ,2020-07-14

[5]

一种MOCVD设备外延生长石墨盘 [P].

李从敏 ;

李星 ;

王亚星 .

中国专利 :CN222834435U ,2025-05-06

[6]

一种氮化镓功率器件用外延生长石墨盘 [P].

刘洋 ;

张利 ;

王皖南 .

中国专利 :CN220643339U ,2024-03-22

[7]

外延生长用晶片载盘 [P].

徐志军 ;

谢祥彬 ;

刘兆 ;

吴洪浩 ;

程伟 ;

周宏敏 ;

张家宏 ;

卓昌正 ;

林兓兓 ;

谢翔麟 .

中国专利 :CN203947179U ,2014-11-19

[8]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092229U ,2016-03-16

[9]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092230U ,2016-03-16

[10]

一种带有石墨盘的半导体材料外延生长装置 [P].

封景隆 ;

迟振彬 ;

刘志学 .

中国专利 :CN222499464U ,2025-02-18

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