一种MOCVD设备外延生长石墨盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421849557.8

申请日：

2024-08-01

公开(公告)号：

CN222834435U

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

李从敏李星王亚星

申请人：

徐州仟目科技集团有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区集成电路产业园二期3号厂房一层和二层

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

代理机构：

徐州创荣知识产权代理事务所(普通合伙) 32353

代理人：

陈凯

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种氮化镓功率器件用外延生长石墨盘 [P].

刘洋 ;

张利 ;

王皖南 .

中国专利 :CN220643339U ,2024-03-22

[2]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092229U ,2016-03-16

[3]

用于LED外延生长的石墨承载盘及外延设备 [P].

刘慰华 ;

包广宏 ;

陈伟 .

中国专利 :CN205092230U ,2016-03-16

[4]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

江汉 ;

寻飞林 ;

蓝永凌 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206562455U ,2017-10-17

[5]

一种外延生长用石墨盘 [P].

林继宏 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN205046194U ,2016-02-24

[6]

一种MOCVD设备生长LED外延片的波长预测方法 [P].

肖睿民 ;

左珠雄 ;

舒俊 ;

郑文杰 ;

高虹 ;

刘春杨 ;

胡加辉 ;

金从龙 .

中国专利 :CN120893316A ,2025-11-04

[7]

外延生长用石墨承载盘 [P].

黄文宾 ;

林忠宝 ;

谢祥彬 ;

林兓兓 ;

张家宏 .

中国专利 :CN204550790U ,2015-08-12

[8]

外延生长用石墨承载盘 [P].

谢祥彬 ;

刘兆 ;

刘恒山 ;

宋长伟 .

中国专利 :CN203839356U ,2014-09-17

[9]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[10]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

孙建建 ;

上官贤炜 ;

曹敏 ;

牛群磊 ;

纪东 ;

姜湃 ;

陈铭胜 .

中国专利 :CN218345543U ,2023-01-20

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