一种MOCVD设备用石墨盘

被引：0

申请号：

CN202221157582.0

申请日：

2022-05-13

公开(公告)号：

CN218345543U

公开(公告)日：

2023-01-20

发明(设计)人：

孙建建上官贤炜曹敏牛群磊纪东姜湃陈铭胜

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C30B2512

代理机构：

南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150

代理人：

彭琰

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

江汉 ;

寻飞林 ;

蓝永凌 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206562455U ,2017-10-17

[2]

MOCVD设备用石墨基座 [P].

芮敏之 .

中国专利 :CN213977870U ,2021-08-17

[3]

一种MOCVD设备用石墨盘的清洗方法 [P].

赵迎春 ;

熊敏 .

中国专利 :CN112404022B ,2021-02-26

[4]

一种用于MOCVD设备的石墨盘 [P].

王丽艳 ;

左玉波 .

中国专利 :CN209194059U ,2019-08-02

[5]

用于MOCVD设备的石墨盘 [P].

兰鹏国 .

中国专利 :CN213295567U ,2021-05-28

[6]

MOCVD设备中的石墨盘 [P].

芮敏之 .

中国专利 :CN204874729U ,2015-12-16

[7]

清洗MOCVD设备用石墨盘的烤盘炉装置 [P].

宋立禄 ;

胡孝策 .

中国专利 :CN202070515U ,2011-12-14

[8]

清洗MOCVD设备用石墨盘的烤盘炉装置 [P].

宋立禄 ;

胡孝策 .

中国专利 :CN102764745A ,2012-11-07

[9]

一种MOCVD设备外延生长石墨盘 [P].

李从敏 ;

李星 ;

王亚星 .

中国专利 :CN222834435U ,2025-05-06

[10]

MOCVD石墨盘 [P].

付羿 ;

周名兵 .

中国专利 :CN211771539U ,2020-10-27

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