MOCVD设备用石墨基座

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022595970.4

申请日：

2020-11-11

公开(公告)号：

CN213977870U

公开(公告)日：

2021-08-17

发明(设计)人：

芮敏之

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区太湖路东侧、景王路南侧

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C30B2512

代理机构：

昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311

代理人：

盛建德;孙海燕

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

王明辉 ;

刘康 ;

黄静 ;

芦玲 .

中国专利 :CN215628286U ,2022-01-25

[2]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

葛永晖 ;

王慧 ;

陈张笑雄 ;

郭炳磊 ;

王群 ;

刘春杨 ;

梅劲 ;

李鹏 .

中国专利 :CN112366174A ,2021-02-12

[3]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

陈张笑雄 ;

葛永晖 ;

梅劲 ;

郭炳磊 ;

卢云霞 .

中国专利 :CN112359414A ,2021-02-12

[4]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

葛永晖 ;

王慧 ;

陈张笑雄 ;

郭炳磊 ;

王群 ;

刘春杨 ;

梅劲 ;

李鹏 .

中国专利 :CN112458531B ,2021-03-09

[5]

基座和MOCVD设备 [P].

苏显月 ;

拉海忠 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222499463U ,2025-02-18

[6]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

孙建建 ;

上官贤炜 ;

曹敏 ;

牛群磊 ;

纪东 ;

姜湃 ;

陈铭胜 .

中国专利 :CN218345543U ,2023-01-20

[7]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

江汉 ;

寻飞林 ;

蓝永凌 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206562455U ,2017-10-17

[8]

MOCVD设备内石墨基座的清洗方法 [P].

刘军林 ;

江风益 ;

郑锐华 .

中国专利 :CN101502835B ,2009-08-12

[9]

清洗MOCVD设备用石墨盘的烤盘炉装置 [P].

宋立禄 ;

胡孝策 .

中国专利 :CN202070515U ,2011-12-14

[10]

清洗MOCVD设备用石墨盘的烤盘炉装置 [P].

宋立禄 ;

胡孝策 .

中国专利 :CN102764745A ,2012-11-07

← 1 2 3 4 5 →