石墨基座和MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011065403.6

申请日：

2020-09-30

公开(公告)号：

CN112458531B

公开(公告)日：

2021-03-09

发明(设计)人：

葛永晖王慧陈张笑雄郭炳磊王群刘春杨梅劲李鹏

申请人：

申请人地址：

322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇苏福路233号

IPC主分类号：

C30B2508

IPC分类号：

C30B2512 C30B2514 C30B2814

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

吕耀萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20200930
2021-03-09	公开	公开
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

葛永晖 ;

王慧 ;

陈张笑雄 ;

郭炳磊 ;

王群 ;

刘春杨 ;

梅劲 ;

李鹏 .

中国专利 :CN112366174A ,2021-02-12

[2]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

陈张笑雄 ;

葛永晖 ;

梅劲 ;

郭炳磊 ;

卢云霞 .

中国专利 :CN112359414A ,2021-02-12

[3]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

王明辉 ;

刘康 ;

黄静 ;

芦玲 .

中国专利 :CN215628286U ,2022-01-25

[4]

MOCVD设备用石墨基座 [P].

芮敏之 .

中国专利 :CN213977870U ,2021-08-17

[5]

基座和MOCVD设备 [P].

苏显月 ;

拉海忠 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222499463U ,2025-02-18

[6]

MOCVD设备内石墨基座的清洗方法 [P].

刘军林 ;

江风益 ;

郑锐华 .

中国专利 :CN101502835B ,2009-08-12

[7]

MOCVD设备的石墨托盘 [P].

纪攀峰 ;

孔庆峰 ;

王文军 ;

胡强 ;

马平 ;

曾一平 ;

王军喜 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN104451605A ,2015-03-25

[8]

一种MOCVD设备用石墨盘 [P].

江汉 ;

寻飞林 ;

蓝永凌 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206562455U ,2017-10-17

[9]

MOCVD设备和MOCVD加热方法 [P].

张慧 .

中国专利 :CN103628040A ,2014-03-12

[10]

用于MOCVD设备的石墨盘 [P].

兰鹏国 .

中国专利 :CN213295567U ,2021-05-28

← 1 2 3 4 5 →