MOCVD设备和MOCVD加热方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210310166.4

申请日：

2012-08-28

公开(公告)号：

CN103628040A

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

张慧

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C1646 C30B2510 C30B2502

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-10	授权	授权
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581313414 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2012103101664 申请日:20120828
2014-03-12	公开	公开
2017-10-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760669730 IPC(主分类):C23C 16/44 专利号:ZL2012103101664 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

MOCVD反应腔及MOCVD设备 [P].

徐亚伟 .

中国专利 :CN103628039A ,2014-03-12

[2]

托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN103938186A ,2014-07-23

[3]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

葛永晖 ;

王慧 ;

陈张笑雄 ;

郭炳磊 ;

王群 ;

刘春杨 ;

梅劲 ;

李鹏 .

中国专利 :CN112366174A ,2021-02-12

[4]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

王明辉 ;

刘康 ;

黄静 ;

芦玲 .

中国专利 :CN215628286U ,2022-01-25

[5]

分区加热的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926212B ,2025-10-31

[6]

石墨基座和MOCVD设备 [P].

陈张笑雄 ;

葛永晖 ;

梅劲 ;

郭炳磊 ;

卢云霞 .

中国专利 :CN112359414A ,2021-02-12

[7]

MOCVD设备及其加热装置 [P].

郑振宇 ;

何乃明 .

中国专利 :CN204982046U ,2016-01-20

[8]

分区加热的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926212A ,2024-04-26

[9]

一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备 [P].

宋涛 ;

朱金华 ;

李辉 ;

周国军 ;

张超 .

中国专利 :CN113846374A ,2021-12-28

[10]

基座和MOCVD设备 [P].

苏显月 ;

拉海忠 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222499463U ,2025-02-18

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