托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310024810.6

申请日：

2013-01-23

公开(公告)号：

CN103938186A

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

李红

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1646

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760382393 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2013100248106 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2014-07-23	公开	公开
2016-12-07	授权	授权
2014-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584548335 IPC(主分类):C23C 16/458 专利申请号:2013100248106 申请日:20130123

共 50 条

[1]

MOCVD反应腔及MOCVD设备 [P].

徐亚伟 .

中国专利 :CN103628039A ,2014-03-12

[2]

反应腔和MOCVD设备 [P].

涂冶 .

中国专利 :CN104342751A ,2015-02-11

[3]

反应腔和MOCVD设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104746037B ,2015-07-01

[4]

用于卧式MOCVD设备的反应腔壳 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086863B ,2025-10-31

[5]

用于卧式MOCVD设备的反应腔壳 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086863A ,2024-05-28

[6]

MOCVD设备的反应装置及MOCVD设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN209081979U ,2019-07-09

[7]

一种反应腔室和MOCVD设备 [P].

涂冶 .

中国专利 :CN103820769B ,2014-05-28

[8]

MOCVD设备和MOCVD加热方法 [P].

张慧 .

中国专利 :CN103628040A ,2014-03-12

[9]

基座和MOCVD设备 [P].

苏显月 ;

拉海忠 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222499463U ,2025-02-18

[10]

反应腔室及设置有该反应腔室的MOCVD设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104233460B ,2014-12-24

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