反应腔和MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310335774.5

申请日：

2013-08-02

公开(公告)号：

CN104342751A

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

涂冶

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2508 C30B2512 C30B2514

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-21	授权	授权
2015-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601514941 IPC(主分类):C30B 25/02 专利申请号:2013103357745 申请日:20130802
2015-02-11	公开	公开
2017-10-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760358281 IPC(主分类):C30B 25/02 专利号:ZL2013103357745 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号

共 50 条

[1]

反应腔和MOCVD设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104746037B ,2015-07-01

[2]

托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN103938186A ,2014-07-23

[3]

一种反应腔室和MOCVD设备 [P].

涂冶 .

中国专利 :CN103820769B ,2014-05-28

[4]

MOCVD反应腔及MOCVD设备 [P].

徐亚伟 .

中国专利 :CN103628039A ,2014-03-12

[5]

用于MOCVD设备反应腔的测量装置 [P].

尧舜 ;

刘晨晖 ;

董国亮 .

中国专利 :CN113340180B ,2021-09-03

[6]

用于卧式MOCVD设备的反应腔壳 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086863B ,2025-10-31

[7]

用于卧式MOCVD设备的反应腔壳 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN118086863A ,2024-05-28

[8]

反应腔室及设置有该反应腔室的MOCVD设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104233460B ,2014-12-24

[9]

MOCVD设备的反应装置及MOCVD设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN209081979U ,2019-07-09

[10]

一种垂直反应腔MOCVD设备喷淋头装置 [P].

贲建伟 ;

孙晓娟 ;

黎大兵 ;

蒋科 ;

张山丽 ;

吕顺鹏 .

中国专利 :CN117822104A ,2024-04-05

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