一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111427462.8

申请日：

2021-11-29

公开(公告)号：

CN113846374A

公开(公告)日：

2021-12-28

发明(设计)人：

宋涛朱金华李辉周国军张超

申请人：

申请人地址：

047500 山西省长治市高新区漳泽新型工业园区

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2510 C30B2512

代理机构：

北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390

代理人：

申龙华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20211129
2021-12-28	公开	公开

共 50 条

[1]

MOCVD设备和MOCVD加热方法 [P].

张慧 .

中国专利 :CN103628040A ,2014-03-12

[2]

MOCVD设备的反应装置及MOCVD设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN209081979U ,2019-07-09

[3]

一种双面加热的MOCVD设备 [P].

张新勇 ;

刘浩飞 ;

苑汇帛 ;

杨绍林 ;

苏小平 ;

宋世金 .

中国专利 :CN215288960U ,2021-12-24

[4]

MOCVD设备的喷淋头及MOCVD设备 [P].

谭华强 ;

黄允文 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103409730A ,2013-11-27

[5]

一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备 [P].

张森 ;

于大洋 ;

费磊 ;

王祥 ;

郭付成 .

中国专利 :CN114164413A ,2022-03-11

[6]

一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备 [P].

张森 ;

于大洋 ;

费磊 ;

王祥 ;

郭付成 .

中国专利 :CN221320084U ,2024-07-12

[7]

分区加热的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926212B ,2025-10-31

[8]

分区加热的MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926212A ,2024-04-26

[9]

MOCVD反应腔及MOCVD设备 [P].

徐亚伟 .

中国专利 :CN103628039A ,2014-03-12

[10]

一种MOCVD反应单元及MOCVD设备 [P].

余小明 .

中国专利 :CN117418219B ,2025-11-07

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