一种MOCVD反应单元及MOCVD设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311395675.6

申请日：

2023-10-25

公开(公告)号：

CN117418219B

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

余小明

申请人：

浙江华辰芯光技术有限公司

申请人地址：

312030 浙江省绍兴市柯桥区钱清街道联合国贸中心2701-3室

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/455

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

郭冬雪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20231025
2025-11-07	授权	授权
2024-01-19	公开	公开
2025-04-18	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):C23C 16/458变更事项:申请人变更前:无锡市华辰芯光半导体科技有限公司变更后:浙江华辰芯光技术有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:江苏省无锡市新吴区震泽路18-3号射手座A座5楼502室变更后:312030 浙江省绍兴市柯桥区钱清街道联合国贸中心2701-3室

共 50 条

[1]

一种MOCVD反应单元及MOCVD设备 [P].

余小明 .

中国专利 :CN117418219A ,2024-01-19

[2]

MOCVD反应腔及MOCVD设备 [P].

徐亚伟 .

中国专利 :CN103628039A ,2014-03-12

[3]

MOCVD设备的反应装置及MOCVD设备 [P].

王志升 .

中国专利 :CN209081979U ,2019-07-09

[4]

一种MOCVD设备反应腔体 [P].

李致文 ;

张勇 .

中国专利 :CN106929819A ,2017-07-07

[5]

托盘、MOCVD反应腔和MOCVD设备 [P].

李红 .

中国专利 :CN103938186A ,2014-07-23

[6]

一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备 [P].

刘可为 ;

陈星 ;

申德振 ;

杨佳霖 .

中国专利 :CN111778552A ,2020-10-16

[7]

MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926211A ,2024-04-26

[8]

MOCVD设备 [P].

徐国强 ;

张丽娜 ;

闻洁 .

中国专利 :CN117926211B ,2025-11-04

[9]

一种MOCVD设备 [P].

陈爱华 ;

金小亮 ;

张伟 ;

吕青 ;

施建新 ;

陈凯辉 .

中国专利 :CN202786418U ,2013-03-13

[10]

一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备 [P].

宋涛 ;

朱金华 ;

李辉 ;

周国军 ;

张超 .

中国专利 :CN113846374A ,2021-12-28

← 1 2 3 4 5 →