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一种MOCVD反应单元及MOCVD设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311395675.6
申请日：
2023-10-25
公开(公告)号：
CN117418219A
公开(公告)日：
2024-01-19
发明(设计)人：
余小明
申请人：
无锡市华辰芯光半导体科技有限公司
申请人地址：
214115 江苏省无锡市新吴区震泽路18-3号射手座A座5楼502室
IPC主分类号：
C23C16/458
IPC分类号：
C23C16/455
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
郭冬雪
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20231025 |
| 2025-11-07 | 授权 | 授权 |
| 2024-01-19 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-18 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):C23C 16/458变更事项:申请人变更前:无锡市华辰芯光半导体科技有限公司变更后:浙江华辰芯光技术有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:江苏省无锡市新吴区震泽路18-3号射手座A座5楼502室变更后:312030 浙江省绍兴市柯桥区钱清街道联合国贸中心2701-3室 |