一种带有石墨盘的半导体材料外延生长装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421111739.5

申请日：

2024-05-21

公开(公告)号：

CN222499464U

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

封景隆迟振彬刘志学

申请人：

青岛航天石墨有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市莱西市文化西路

IPC主分类号：

C30B25/12

IPC分类号：

C30B25/10

代理机构：

北京卓岚智财知识产权代理有限公司 11624

代理人：

张旭东

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种应用于半导体材料外延生长的石墨盘 [P].

刘建庆 ;

文宏 ;

刘雪珍 ;

高熙隆 ;

肖林林 ;

丁杰 ;

杨溢 .

中国专利 :CN209243171U ,2019-08-13

[2]

一种应用于半导体材料外延生长的石墨盘 [P].

刘建庆 ;

文宏 ;

刘雪珍 ;

高熙隆 ;

肖林林 ;

丁杰 ;

杨溢 .

中国专利 :CN109183001A ,2019-01-11

[3]

用于MOCVD半导体外延生长用石墨盘清洗的承载装置 [P].

张泉 ;

孙海龙 ;

李文红 .

中国专利 :CN217298089U ,2022-08-26

[4]

一种半导体外延生长用承载盘 [P].

梁瑞 ;

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN215856451U ,2022-02-18

[5]

一种利用石墨烯插入层外延生长金属/半导体材料的方法 [P].

张波 ;

侯春雷 ;

孟骁然 ;

狄增峰 ;

张苗 .

中国专利 :CN105448690B ,2016-03-30

[6]

一种半导体外延生长方法及其石墨承载盘 [P].

林科闯 ;

张中英 ;

邓有财 ;

彭伟伦 ;

赖昭序 .

中国专利 :CN107785244A ,2018-03-09

[7]

一种用于半导体材料液相外延生长的隧穿式石墨舟 [P].

邓惠勇 ;

戴宁 .

中国专利 :CN101353812A ,2009-01-28

[8]

一种用于半导体材料外延生长设备中的托盘 [P].

黎大兵 ;

贲建伟 ;

孙晓娟 ;

蒋科 ;

张山丽 ;

贾玉萍 ;

陈洋 ;

石芝铭 ;

臧行 .

中国专利 :CN111455353A ,2020-07-28

[9]

一种外延生长用石墨承载盘 [P].

黄理承 ;

谢翔麟 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN206680574U ,2017-11-28

[10]

一种半导体外延生长结构 [P].

周志文 ;

张卫丰 ;

王新中 .

中国专利 :CN202513198U ,2012-10-31

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