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一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910722040.X
申请日
:
2019-08-06
公开(公告)号
:
CN110562692A
公开(公告)日
:
2019-12-13
发明(设计)人
:
罗雪春
胡家铭
王宏宇
王照忠
万长明
申请人
:
申请人地址
:
610000 四川省成都市高新区康强一路1188号
IPC主分类号
:
B65G3700
IPC分类号
:
B65G1306
B65G1312
B65G4300
代理机构
:
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人
:
伍星
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-01-07
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B65G 37/00 申请日:20190806
2020-12-29
授权
授权
2019-12-13
公开
公开
共 50 条
[1]
一种掩膜版清洗装置及其清洗方法
[P].
王晓龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
王晓龙
;
姚俊俊
论文数:
0
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0
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姚俊俊
.
中国专利
:CN109482557A
,2019-03-19
[2]
掩膜版工作台装置及其使用方法
[P].
左文娟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
左文娟
;
王保光
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海华力集成电路制造有限公司
上海华力集成电路制造有限公司
王保光
.
中国专利
:CN117761973A
,2024-03-26
[3]
掩膜版修补机及其校正掩膜版位置的夹具
[P].
孟山
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市龙图光罩股份有限公司
深圳市龙图光罩股份有限公司
孟山
;
郑祺弘
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳市龙图光罩股份有限公司
深圳市龙图光罩股份有限公司
郑祺弘
.
中国专利
:CN222259836U
,2024-12-27
[4]
一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法
[P].
潘晟恺
论文数:
0
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0
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0
潘晟恺
;
熊腾青
论文数:
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0
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熊腾青
;
刘杰
论文数:
0
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0
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刘杰
;
杨凯
论文数:
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杨凯
;
乔永康
论文数:
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乔永康
;
李如
论文数:
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0
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0
李如
.
中国专利
:CN107526247A
,2017-12-29
[5]
一种掩膜版清洗装置
[P].
王晓龙
论文数:
0
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王晓龙
;
姚俊俊
论文数:
0
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姚俊俊
.
中国专利
:CN209577532U
,2019-11-05
[6]
一种金属掩膜版清洗装置
[P].
钱超
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0
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0
钱超
;
余洋
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0
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0
余洋
.
中国专利
:CN217774990U
,2022-11-11
[7]
10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法
[P].
林伟
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0
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0
林伟
;
吕振群
论文数:
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0
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吕振群
.
中国专利
:CN109482591A
,2019-03-19
[8]
10代线掩膜版箱子清洗系统及清洗方法
[P].
林伟
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0
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0
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机构:
成都路维光电有限公司
成都路维光电有限公司
林伟
;
吕振群
论文数:
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机构:
成都路维光电有限公司
成都路维光电有限公司
吕振群
.
中国专利
:CN109482591B
,2024-05-14
[9]
10代线掩膜版箱子清洗系统
[P].
林伟
论文数:
0
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0
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0
林伟
;
吕振群
论文数:
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0
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0
吕振群
.
中国专利
:CN209424224U
,2019-09-24
[10]
一种玻璃酒瓶清洗系统及其使用方法
[P].
刘利利
论文数:
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刘利利
;
其他发明人请求不公开姓名
论文数:
0
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0
其他发明人请求不公开姓名
.
中国专利
:CN112157096A
,2021-01-01
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