纳米线晶体管元件及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510037261.5

申请日：

2015-01-26

公开(公告)号：

CN105895688B

公开(公告)日：

2016-08-24

发明(设计)人：

冯立伟蔡世鸿洪世芳林昭宏郑志祥

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区

IPC主分类号：

H01L2978

IPC分类号：

H01L2906 H01L21336 H01L27092

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陈小雯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-05	授权	授权
2018-01-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20150126
2016-08-24	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米线晶体管元件 [P].

冯立伟 ;

蔡世鸿 ;

洪世芳 ;

林昭宏 ;

郑志祥 .

中国专利 :CN111584625A ,2020-08-25

[2]

纳米线晶体管及其制作方法 [P].

许峰 ;

高滨 ;

李辛毅 ;

吴华强 ;

钱鹤 .

中国专利 :CN108598170B ,2018-09-28

[3]

纳米线晶体管及其制作方法 [P].

谢柏光 ;

蔡世鸿 ;

洪庆文 ;

林俊贤 .

中国专利 :CN114792682B ,2025-12-09

[4]

纳米线晶体管及其制作方法 [P].

谢柏光 ;

蔡世鸿 ;

洪庆文 ;

林俊贤 .

中国专利 :CN114792682A ,2022-07-26

[5]

垂直纳米线晶体管与其制作方法 [P].

殷华湘 ;

张青竹 ;

张兆浩 ;

许高博 .

中国专利 :CN108428634B ,2018-08-21

[6]

垂直纳米线晶体管与其制作方法 [P].

殷华湘 ;

张青竹 ;

张兆浩 ;

许高博 .

中国专利 :CN108511344A ,2018-09-07

[7]

纳米线晶体管 [P].

顾经纶 .

中国专利 :CN104241370A ,2014-12-24

[8]

纳米线晶体管 [P].

顾经纶 .

中国专利 :CN104241371A ,2014-12-24

[9]

纳米线晶体管 [P].

顾经纶 .

中国专利 :CN104241138A ,2014-12-24

[10]

半导体晶体管元件及其制作方法 [P].

周志飚 ;

陈鼎龙 ;

张兴华 .

中国专利 :CN107492572B ,2017-12-19

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