一种用于PCB内层板曝光的曝光机以及对准曝光方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811636066.4
申请日
2018-12-29
公开(公告)号
CN109471337A
公开(公告)日
2019-03-15
发明(设计)人
刘栋 张雷 李伟成
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
IPC主分类号
G03F900
IPC分类号
代理机构
苏州国诚专利代理有限公司 32293
代理人
陈松
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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