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一种内层板曝光机及其标记方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911236436.X
申请日：
2019-12-05
公开(公告)号：
CN111221223B
公开(公告)日：
2020-06-02
发明(设计)人：
刘栋
张雷
申请人：
申请人地址：
215339 江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路111号华平（昆山）智造园B-6号厂房
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 授权 | 授权 |
| 2020-06-02 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191205 |