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一种应用于曝光机组连线多台面的内层板曝光对位方法

被引：0
申请号：
CN202211102557.7
申请日：
2022-09-09
公开(公告)号：
CN115309011A
公开(公告)日：
2022-11-08
发明(设计)人：
朱俊伟
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市虎丘区高新区火炬路85号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
深圳市千纳专利代理有限公司 44218
代理人：
刘洋;刘国童
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-25 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20220909
2022-11-08 公开 公开
共 50 条
[1]
一种应用于曝光设备的内层对位装置及曝光设备 [P]. 
徐广峰 ;
陈海巍 .
中国专利 :CN223390031U ,2025-09-26
[2]
一种应用于直写曝光机制作内层无孔对位板的方法 [P]. 
蔡志国 ;
朱俊伟 ;
吴斌 ;
罗宜清 ;
张显峰 ;
张兴旺 .
中国专利 :CN106896653A ,2017-06-27
[3]
一种应用于内层板芯曝光的对位结构 [P]. 
曾祥福 ;
彭晓华 ;
贺仁虎 ;
潘勇良 .
中国专利 :CN210491341U ,2020-05-08
[4]
一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置 [P]. 
陈振才 .
中国专利 :CN108762003A ,2018-11-06
[5]
一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置 [P]. 
陈振才 .
中国专利 :CN207992679U ,2018-10-19
[6]
一种应用于内层板的曝光系统 [P]. 
张雷 .
中国专利 :CN211741830U ,2020-10-23
[7]
一种多台面曝光装置 [P]. 
陈国军 ;
吴景舟 ;
马迪 .
中国专利 :CN223333276U ,2025-09-12
[8]
一种用于PCB内层板曝光的曝光机 [P]. 
刘栋 ;
张雷 ;
李伟成 .
中国专利 :CN209525558U ,2019-10-22
[9]
一种应用于内层板的曝光机及对位系统的实时监测方法 [P]. 
张雷 .
中国专利 :CN111273525A ,2020-06-12
[10]
一种用于PCB内层板曝光的曝光机以及对准曝光方法 [P]. 
刘栋 ;
张雷 ;
李伟成 .
中国专利 :CN109471337A ,2019-03-15
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