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一种应用于曝光机内曝光台面的冷却控制装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820094490.X
申请日：
2018-01-20
公开(公告)号：
CN207992679U
公开(公告)日：
2018-10-19
发明(设计)人：
陈振才
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市长安镇涌头社区新荣街10号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427
代理人：
陈娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-19 | 授权 | 授权 |
| 2022-12-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180120 授权公告日:20181019 终止日期:20220120 |