一种曝光机台面的清洁结构及曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820625231.5

申请日：

2018-04-27

公开(公告)号：

CN208141123U

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

王文剑陈国忠杨世勇余宁

申请人：

申请人地址：

518105 广东省深圳市宝安区松岗街道芙蓉路8号A栋二楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

B08B700

代理机构：

厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234

代理人：

李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光机玻璃曝光台面的冷却装置 [P].

范金刚 ;

蓝学军 .

中国专利 :CN204203631U ,2015-03-11

[2]

一种半自动曝光机曝光台面的水冷装置 [P].

陈振才 ;

邱田生 .

中国专利 :CN209265175U ,2019-08-16

[3]

一种直写式曝光机用台面清洁结构 [P].

肖磊 .

中国专利 :CN211454230U ,2020-09-08

[4]

一种双台面曝光机及曝光方法 [P].

霍大云 ;

刘麟跃 .

中国专利 :CN119024647A ,2024-11-26

[5]

双台面曝光机 [P].

林垂真 ;

周川 ;

张华 ;

吴越 ;

项铭 ;

向正西 ;

杜一 .

中国专利 :CN216873722U ,2022-07-01

[6]

一种曝光定位结构及曝光机 [P].

林垂真 ;

陈慧妮 ;

柳宁宁 ;

许新科 .

中国专利 :CN120540016A ,2025-08-26

[7]

一种曝光机吸附结构及曝光机 [P].

黄绍洪 .

中国专利 :CN214795568U ,2021-11-19

[8]

曝光机台及应用该曝光机台的曝光方法 [P].

许咏政 ;

温孟川 ;

王炯翰 .

中国专利 :CN101813895A ,2010-08-25

[9]

清洁系统、曝光机台及清洁方法 [P].

房璐璐 ;

梁学玉 .

中国专利 :CN114518696B ,2025-01-10

[10]

一种曝光机台 [P].

李思拥 ;

曾一鑫 .

中国专利 :CN220752516U ,2024-04-09

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