一种金属基薄膜热流微传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111289671.0

申请日：

2021-11-02

公开(公告)号：

CN114107923B

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

罗剑金新航马炳和田勇张韬刘赟哲

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市碑林区友谊西路127号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1402 C23C1408 C23C1424 G01K722

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

张亚娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	公开	公开
2022-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20211102
2022-09-09	授权	授权

共 50 条

[1]

基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法 [P].

冯科 ;

谭庆 ;

漆锐 ;

陈南菲 ;

杨玉 ;

邓惠丹 ;

段青松 .

中国专利 :CN115615568A ,2023-01-17

[2]

一种基于金属衬底的微纳米薄膜热流传感器及其制作方法 [P].

冯科 ;

王水根 ;

邓惠丹 ;

段青松 ;

陈南菲 ;

漆锐 ;

谭庆 ;

杨玉 .

中国专利 :CN115589760A ,2023-01-10

[3]

一种金属基底热流传感器及其制备方法 [P].

张浩 ;

张月鑫 ;

余浪 ;

曾庆平 ;

周国方 .

中国专利 :CN115683396A ,2023-02-03

[4]

薄膜型热流传感器及其制备方法 [P].

王勇 ;

黄亚辉 ;

王昆仑 ;

张学思 .

中国专利 :CN117470413B ,2024-03-29

[5]

薄膜型热流传感器及其制备方法 [P].

王勇 ;

黄亚辉 ;

王昆仑 ;

张学思 .

中国专利 :CN117470413A ,2024-01-30

[6]

一种金属基薄膜传感器的制备方法 [P].

赵晓辉 ;

杨柯 ;

王亦然 ;

蒋书文 ;

蒋洪川 ;

熊杰 ;

张万里 .

中国专利 :CN104789926B ,2015-07-22

[7]

薄膜传感器及其制备方法 [P].

谭秋林 ;

杨子锋 ;

姚雪 ;

张磊 ;

熊继军 .

中国专利 :CN113061838A ,2021-07-02

[8]

一种金属基传感器表面高绝缘薄膜制备方法 [P].

刘延 ;

李华峰 ;

张锦 ;

张全伟 ;

程发斌 ;

王远 ;

王珏 .

中国专利 :CN117344270A ,2024-01-05

[9]

一种薄膜热流传感器及其制备方法 [P].

何峰 ;

谢贵久 ;

景涛 ;

颜志红 ;

张建国 ;

董克冰 .

中国专利 :CN102928460A ,2013-02-13

[10]

一种薄膜热流传感器及其制备方法 [P].

张浩 ;

薛勇 ;

颜秀文 ;

何峰 ;

张月鑫 ;

余浪 .

中国专利 :CN118999838A ,2024-11-22

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