一种MEMS V型梁的形变分析方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910527354.4
申请日
2019-06-18
公开(公告)号
CN110334418A
公开(公告)日
2019-10-15
发明(设计)人
韩磊 秦瑞洁
申请人
申请人地址
210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
IPC主分类号
G06F1750
IPC分类号
代理机构
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人
楼高潮
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
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[3]
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[6]
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[7]
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[8]
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一种矿区形变的监测方法 [P]. 
邢学敏 ;
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[10]
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