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一种MEMS双端固支梁的形变分析方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910526741.6
申请日：
2019-06-18
公开(公告)号：
CN110346104B
公开(公告)日：
2019-10-18
发明(设计)人：
韩磊
秦瑞洁
申请人：
申请人地址：
210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
IPC主分类号：
G01M708
IPC分类号：
G01B2132
代理机构：
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人：
楼高潮
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 7/08 申请日:20190618 |
| 2021-02-02 | 授权 | 授权 |