一种晶圆扫描装置及扫描方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010997692.7

申请日：

2020-09-21

公开(公告)号：

CN112038279A

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

张庆钊陈百捷姚广军王镇清

申请人：

申请人地址：

100000 北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙) 11303

代理人：

马丽莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20200921
2022-05-06	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/68 变更事项:申请人变更前:芯导精密(北京)设备有限公司变更后:芯导精密(北京)设备有限公司变更事项:地址变更前:100000 北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号变更后:100000 北京市大兴区金盛大街2号院5号楼1层101-71
2020-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[2]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN105575845B ,2016-05-11

[3]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441A ,2024-01-05

[4]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441B ,2024-02-09

[5]

一种晶圆扫描装置 [P].

林德礼 .

中国专利 :CN119198766A ,2024-12-27

[6]

一种晶圆扫描系统 [P].

缪燕 ;

丁欣 .

中国专利 :CN216849847U ,2022-06-28

[7]

晶圆扫描装置及晶圆处理设备 [P].

鲁泽 ;

李俊杰 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496834U ,2019-10-15

[8]

一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 [P].

梅华斌 ;

刘春 ;

张智 ;

闵海英 ;

张敏 .

中国专利 :CN209342120U ,2019-09-03

[9]

一种扫描装置及扫描方法 [P].

孙玉春 ;

陈虎 ;

王勇 ;

柯怡芳 ;

翟文茹 .

中国专利 :CN114404084A ,2022-04-29

[10]

一种扫描装置及扫描方法 [P].

马宣 ;

王兆民 ;

方兆翔 ;

曹炳辰 ;

孙瑞 .

中国专利 :CN111190164B ,2020-05-22

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