一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920298431.9

申请日：

2019-03-08

公开(公告)号：

CN209342120U

公开(公告)日：

2019-09-03

发明(设计)人：

梅华斌刘春张智闵海英张敏

申请人：

申请人地址：

214121 江苏省无锡市高浪西路1600号

IPC主分类号：

G01D526

IPC分类号：

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

冯智文

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆扫描装置及晶圆处理设备 [P].

鲁泽 ;

李俊杰 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496834U ,2019-10-15

[2]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[3]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN105575845B ,2016-05-11

[4]

一种晶圆扫描系统 [P].

缪燕 ;

丁欣 .

中国专利 :CN216849847U ,2022-06-28

[5]

一种晶圆扫描装置 [P].

林德礼 .

中国专利 :CN119198766A ,2024-12-27

[6]

一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置 [P].

梅华斌 ;

黄维铭 ;

宋瑞超 .

中国专利 :CN211569394U ,2020-09-25

[7]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441A ,2024-01-05

[8]

晶圆扫描装置及其扫描方法 [P].

龚昱 ;

朱飞 ;

余君山 .

中国专利 :CN117352441B ,2024-02-09

[9]

一种晶圆扫描装置及扫描方法 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN112038279A ,2020-12-04

[10]

一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置 [P].

张瑶瑶 ;

胡冬冬 ;

侯永刚 ;

朱治友 ;

程实然 ;

郭颂 ;

李娜 ;

许开东 .

中国专利 :CN113155745A ,2021-07-23

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