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一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020011303.4
申请日：
2020-01-02
公开(公告)号：
CN211569394U
公开(公告)日：
2020-09-25
发明(设计)人：
梅华斌
黄维铭
宋瑞超
申请人：
申请人地址：
214121 江苏省无锡市高浪西路1600号
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
代理机构：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228
代理人：
聂启新
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-25 | 授权 | 授权 |