晶圆翘曲测量仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320404135.5

申请日：

2013-07-08

公开(公告)号：

CN203349772U

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

陈杰钱育佳

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G01B530

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

王江富

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101676526580 IPC(主分类):G01B 5/30 专利号:ZL2013204041355 申请日:20130708 授权公告日:20131218 终止日期:20150708
2014-03-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101697122769 IPC(主分类):G01B 5/30 专利号:ZL2013204041355 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140212
2013-12-18	授权	授权

共 50 条

[1]

翘曲测量仪 [P].

王伟义 .

中国专利 :CN2121009U ,1992-11-04

[2]

液晶玻璃基板翘曲测量仪 [P].

李兆廷 ;

韦泽光 ;

丁永良 ;

常军 ;

郭玉磊 .

中国专利 :CN203163707U ,2013-08-28

[3]

晶圆厚度测量仪 [P].

何秋梅 ;

谢刚刚 ;

韦世敏 .

中国专利 :CN222926118U ,2025-05-30

[4]

一种翘曲测量仪 [P].

毛红霞 ;

黄炳艳 ;

张佳天 ;

蓝春合 .

中国专利 :CN223258882U ,2025-08-22

[5]

晶圆片翘曲测量装置 [P].

李辉斌 ;

邱舜国 ;

周天彪 ;

钟泳生 ;

陈铭杰 .

中国专利 :CN222418845U ,2025-01-28

[6]

翘曲度测量仪 [P].

彭开峰 ;

李兆廷 ;

石志强 ;

李震 ;

李俊生 ;

张北斗 ;

干丛龙 .

中国专利 :CN205816250U ,2016-12-21

[7]

圆度测量仪 [P].

李威 .

中国专利 :CN202974244U ,2013-06-05

[8]

一种晶圆轮廓测量仪 [P].

陈海龙 ;

郭晓忠 ;

翁杰 ;

叶连慧 .

中国专利 :CN223283614U ,2025-08-29

[9]

一种晶圆轮廓测量仪 [P].

陈海龙 .

中国专利 :CN215447789U ,2022-01-07

[10]

圆度测量仪 [P].

卢宓 ;

何一红 ;

何海兵 .

中国专利 :CN210833372U ,2020-06-23

← 1 2 3 4 5 →