晶圆片翘曲测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421285856.3

申请日：

2024-06-05

公开(公告)号：

CN222418845U

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

李辉斌邱舜国周天彪钟泳生陈铭杰

申请人：

珠海格力电子元器件有限公司珠海格力电器股份有限公司

申请人地址：

519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层428室（集中办公区）

IPC主分类号：

G01B5/00

IPC分类号：

G01B5/30 H01L21/66

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

谭玲玲

法律状态：

授权

国省代码：

广东省珠海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[2]

晶圆翘曲测量仪 [P].

陈杰 ;

钱育佳 .

中国专利 :CN203349772U ,2013-12-18

[3]

晶圆翘曲检测装置 [P].

田程 ;

请求不公布姓名 ;

李道东 ;

王议梅 .

中国专利 :CN222652165U ,2025-03-21

[4]

晶圆一维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统 [P].

马砚忠 ;

陈治均 ;

程朝奎 ;

白园园 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119779179A ,2025-04-08

[5]

晶圆一维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统 [P].

马砚忠 ;

陈治均 ;

程朝奎 ;

白园园 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN119779179B ,2025-11-21

[6]

一种翘曲晶圆取片装置 [P].

司步超 ;

高志远 ;

张刊 ;

王瑞锋 ;

潘武 .

中国专利 :CN220774326U ,2024-04-12

[7]

电池片曲翘度测量装置 [P].

赵庆国 ;

张峰 .

中国专利 :CN201867156U ,2011-06-15

[8]

晶圆翘曲程度测量方法及装置 [P].

陈子琪 .

中国专利 :CN108828267A ,2018-11-16

[9]

一种晶圆翘曲测量夹具 [P].

许军 ;

张傲 ;

朱樊樊 ;

余啸 ;

汪小悦 ;

汪亮 ;

高倩妹 ;

王沛 .

中国专利 :CN220914164U ,2024-05-07

[10]

一种消除晶圆片翘曲的托盘 [P].

张杨 ;

张露 ;

杨翠柏 ;

张小宾 ;

毛明明 ;

潘旭 ;

刘建庆 ;

王智勇 .

中国专利 :CN204315534U ,2015-05-06

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