晶圆翘曲检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420745560.9

申请日：

2024-04-11

公开(公告)号：

CN222652165U

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

田程请求不公布姓名李道东王议梅

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

G01B11/16

IPC分类号：

H01L21/66 H01L23/544

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆翘曲程度的检测方法 [P].

刘明源 ;

何永根 .

中国专利 :CN101442018B ,2009-05-27

[2]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[3]

晶圆片翘曲测量装置 [P].

李辉斌 ;

邱舜国 ;

周天彪 ;

钟泳生 ;

陈铭杰 .

中国专利 :CN222418845U ,2025-01-28

[4]

翘曲晶圆承载器 [P].

年四军 ;

简子杰 ;

李小金 .

中国专利 :CN205092231U ,2016-03-16

[5]

板材翘曲检测装置 [P].

王国珍 ;

釆长青 ;

李亮 .

中国专利 :CN211503996U ,2020-09-15

[6]

晶圆翘曲度的检测装置 [P].

卢盈 ;

郭伟 ;

曾旭 .

中国专利 :CN214428601U ,2021-10-19

[7]

一种翘曲晶圆回流加热装置 [P].

邓柯钦 ;

周胤州 ;

王涛 .

中国专利 :CN118763029B ,2025-01-07

[8]

一种翘曲晶圆回流加热装置 [P].

邓柯钦 ;

周胤州 ;

王涛 .

中国专利 :CN118763029A ,2024-10-11

[9]

一种晶圆翘曲整平装置 [P].

吴红儒 ;

梁新夫 ;

柳坤 ;

郭良奎 .

中国专利 :CN218004786U ,2022-12-09

[10]

改善晶圆翘曲的方法 [P].

周爽 ;

吕穿江 ;

王晓日 ;

焦鹏 ;

禹楼飞 .

中国专利 :CN115084012A ,2022-09-20

← 1 2 3 4 5 →