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一种翘曲晶圆回流加热装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411226928.1
申请日：
2024-09-03
公开(公告)号：
CN118763029B
公开(公告)日：
2025-01-07
发明(设计)人：
邓柯钦
周胤州
王涛
申请人：
江苏峰博装备技术有限公司
申请人地址：
214104 江苏省无锡市锡山区安镇街道春风南路2号智行科创园B1-5-082
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/60
代理机构：
苏州市知腾专利代理事务所(普通合伙) 32632
代理人：
杨艳峰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240903 |
| 2024-10-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-07 | 授权 | 授权 |