共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆加热装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323298938.X
申请日：
2023-12-05
公开(公告)号：
CN221613843U
公开(公告)日：
2024-08-27
发明(设计)人：
袁露露
申请人：
南京索莱能智能科技有限公司
申请人地址：
211100 江苏省南京市江宁区秣周东路12号P365室(未来科技城)
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
南京优知衡专利代理事务所(普通合伙) 32789
代理人：
左江锋
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-27 | 授权 | 授权 |