一种晶圆加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421748098.4

申请日：

2024-07-23

公开(公告)号：

CN222927432U

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

顾海山沈清华

申请人：

无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区鸿山街道鸿运路203号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517

代理人：

屠志力

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆加热装置 [P].

孙士强 .

中国专利 :CN203787397U ,2014-08-20

[2]

晶圆均匀加热装置 [P].

胡东辉 ;

郭剑飞 ;

陈林 ;

姚建强 ;

杨富池 ;

李旭明 ;

邢耀淇 ;

赵轶 .

中国专利 :CN206194704U ,2017-05-24

[3]

一种晶圆加热装置 [P].

袁露露 .

中国专利 :CN221613843U ,2024-08-27

[4]

一种晶圆加热装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221427684U ,2024-07-26

[5]

一种晶圆加热装置 [P].

武岩 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221596393U ,2024-08-23

[6]

一种晶圆加热装置 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

王正国 .

中国专利 :CN223738115U ,2025-12-30

[7]

一种晶圆加热装置 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN212967615U ,2021-04-13

[8]

一种晶圆加热装置 [P].

邵东 ;

蔡虹 .

中国专利 :CN217239412U ,2022-08-19

[9]

一种晶圆加热装置 [P].

李伟伟 .

中国专利 :CN223006745U ,2025-06-20

[10]

一种晶圆加热装置 [P].

刘颖 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220627758U ,2024-03-19

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