一种晶圆加热装置

被引：0

申请号：

CN202221204315.4

申请日：

2022-05-19

公开(公告)号：

CN217239412U

公开(公告)日：

2022-08-19

发明(设计)人：

邵东蔡虹

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

合肥律众知识产权代理有限公司 34147

代理人：

殷娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆加热装置 [P].

赵明山 ;

蔡虹 ;

赵萌 ;

周晓君 ;

张立 .

中国专利 :CN120413468A ,2025-08-01

[2]

一种晶圆加热装置 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

王正国 .

中国专利 :CN223738115U ,2025-12-30

[3]

一种晶圆加热装置 [P].

袁露露 .

中国专利 :CN221613843U ,2024-08-27

[4]

一种晶圆加热装置 [P].

顾海山 ;

沈清华 .

中国专利 :CN222927432U ,2025-05-30

[5]

一种晶圆加热装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221427684U ,2024-07-26

[6]

一种晶圆加热装置 [P].

武岩 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221596393U ,2024-08-23

[7]

一种晶圆加热装置 [P].

杨仕品 ;

孙先淼 ;

张洋 .

中国专利 :CN114678296A ,2022-06-28

[8]

一种晶圆加热装置 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN212967615U ,2021-04-13

[9]

一种晶圆加热装置 [P].

李伟伟 .

中国专利 :CN223006745U ,2025-06-20

[10]

一种晶圆加热装置 [P].

刘颖 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220627758U ,2024-03-19

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