一种晶圆加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021818370.3

申请日：

2020-08-27

公开(公告)号：

CN212967615U

公开(公告)日：

2021-04-13

发明(设计)人：

姬煜赵通

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728

代理人：

涂柳晓

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆加热装置 [P].

袁露露 .

中国专利 :CN221613843U ,2024-08-27

[2]

一种晶圆加热装置 [P].

顾海山 ;

沈清华 .

中国专利 :CN222927432U ,2025-05-30

[3]

一种晶圆加热装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221427684U ,2024-07-26

[4]

一种晶圆加热装置 [P].

武岩 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221596393U ,2024-08-23

[5]

一种晶圆加热装置 [P].

李玉慧 ;

张正中 ;

王正国 .

中国专利 :CN223738115U ,2025-12-30

[6]

一种晶圆加热装置 [P].

邵东 ;

蔡虹 .

中国专利 :CN217239412U ,2022-08-19

[7]

一种晶圆加热装置 [P].

李伟伟 .

中国专利 :CN223006745U ,2025-06-20

[8]

一种晶圆加热装置 [P].

刘颖 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220627758U ,2024-03-19

[9]

一种晶圆加热装置 [P].

孙士强 .

中国专利 :CN203787397U ,2014-08-20

[10]

晶圆加热装置 [P].

崔炳斗 .

中国专利 :CN202881385U ,2013-04-17

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