晶圆加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220456713.5

申请日：

2012-09-07

公开(公告)号：

CN202881385U

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

崔炳斗

申请人：

申请人地址：

中国台湾苗栗县

IPC主分类号：

C23C1646

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

余刚;吴孟秋

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101687187176 IPC(主分类):C23C 16/46 专利号:ZL2012204567135 申请日:20120907 授权公告日:20130417 终止日期:20150907
2013-04-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆加热装置 [P].

孔志能 .

中国专利 :CN209822594U ,2019-12-20

[2]

晶圆加热装置 [P].

赵裕兴 ;

杨磊 .

中国专利 :CN222995375U ,2025-06-17

[3]

晶圆加热装置 [P].

金杰 .

中国专利 :CN203118919U ,2013-08-07

[4]

晶圆均匀加热装置 [P].

胡东辉 ;

郭剑飞 ;

陈林 ;

姚建强 ;

杨富池 ;

李旭明 ;

邢耀淇 ;

赵轶 .

中国专利 :CN206194704U ,2017-05-24

[5]

晶圆加热装置 [P].

邵留宝 ;

何西登 ;

黄天宇 ;

韩阳 ;

刘鼎新 ;

赵运翔 ;

郭倩 .

中国专利 :CN119381285A ,2025-01-28

[6]

晶圆加热装置 [P].

竹林央史 ;

鸟居谦悟 ;

平田夏树 .

中国专利 :CN110352626B ,2019-10-18

[7]

晶圆加热装置 [P].

崔炳斗 .

中国专利 :CN201793735U ,2011-04-13

[8]

晶圆加热装置 [P].

李复春 ;

江岱平 ;

卢国艺 ;

曾金城 ;

黎平 ;

易智勇 .

中国专利 :CN216871936U ,2022-07-01

[9]

晶圆加热装置 [P].

韩阳 ;

王晖 ;

贾社娜 ;

陶晓峰 ;

韩晗 .

中国专利 :CN115472522A ,2022-12-13

[10]

晶圆加热装置 [P].

赵裕兴 ;

杨磊 .

中国专利 :CN118676048A ,2024-09-20

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