晶圆加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920528620.0

申请日：

2019-04-16

公开(公告)号：

CN209822594U

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

孔志能

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L21687 G03F716 G03F726

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260

代理人：

成丽杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆加热装置 [P].

崔炳斗 .

中国专利 :CN202881385U ,2013-04-17

[2]

晶圆加热装置 [P].

赵裕兴 ;

杨磊 .

中国专利 :CN222995375U ,2025-06-17

[3]

晶圆加热装置 [P].

金杰 .

中国专利 :CN203118919U ,2013-08-07

[4]

晶圆加热装置 [P].

梁晓东 .

中国专利 :CN104617008A ,2015-05-13

[5]

一种晶圆加热装置 [P].

袁露露 .

中国专利 :CN221613843U ,2024-08-27

[6]

一种晶圆加热装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221427684U ,2024-07-26

[7]

晶圆均匀加热装置 [P].

胡东辉 ;

郭剑飞 ;

陈林 ;

姚建强 ;

杨富池 ;

李旭明 ;

邢耀淇 ;

赵轶 .

中国专利 :CN206194704U ,2017-05-24

[8]

一种晶圆加热装置 [P].

刘颖 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220627758U ,2024-03-19

[9]

晶圆激光加热装置 [P].

黎红强 ;

李念 ;

邴召荣 .

中国专利 :CN111540701A ,2020-08-14

[10]

晶圆加热装置 [P].

邵留宝 ;

何西登 ;

黄天宇 ;

韩阳 ;

刘鼎新 ;

赵运翔 ;

郭倩 .

中国专利 :CN119381285A ,2025-01-28

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