一种晶圆均匀加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421112466.6

申请日：

2024-05-21

公开(公告)号：

CN222356568U

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

徐同德谢东

申请人：

浙江上绍新德智能科技有限公司

申请人地址：

312035 浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号1幢(瓶酒车间1)4楼439室

IPC主分类号：

H05B3/02

IPC分类号：

H05B3/06 H05B3/20 H05B1/02 H01L21/67

代理机构：

北京国源中科知识产权代理事务所(普通合伙) 16179

代理人：

胡勋勋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	授权	授权
2025-11-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移IPC(主分类):H05B 3/02登记生效日:20251105变更事项:专利权人变更前权利人:浙江上绍新德智能科技有限公司变更后权利人:浙江上绍德芯智能科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:312035 浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号1幢(瓶酒车间1)4楼439室变更后权利人:312000 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江路以北2幢213室

共 50 条

[1]

晶圆均匀加热装置 [P].

胡东辉 ;

郭剑飞 ;

陈林 ;

姚建强 ;

杨富池 ;

李旭明 ;

邢耀淇 ;

赵轶 .

中国专利 :CN206194704U ,2017-05-24

[2]

一种晶圆加热装置 [P].

袁露露 .

中国专利 :CN221613843U ,2024-08-27

[3]

一种晶圆加热装置 [P].

高为达 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221427684U ,2024-07-26

[4]

一种晶圆加热装置 [P].

刘颖 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN220627758U ,2024-03-19

[5]

晶圆加热装置 [P].

孔志能 .

中国专利 :CN209822594U ,2019-12-20

[6]

一种高效率加热的晶圆加热盘结构 [P].

李翔 ;

姜小蛟 ;

邹云 ;

孙宁 ;

赵亢 ;

胡显冰 .

中国专利 :CN222801752U ,2025-04-25

[7]

一种控制晶圆翘曲的加热装置 [P].

孙群峰 ;

梁新夫 ;

赵强 ;

向金贝 .

中国专利 :CN218182172U ,2022-12-30

[8]

一种晶圆加热装置 [P].

顾海山 ;

沈清华 .

中国专利 :CN222927432U ,2025-05-30

[9]

一种晶圆加热装置 [P].

赵明山 ;

蔡虹 ;

赵萌 ;

周晓君 ;

张立 .

中国专利 :CN120413468A ,2025-08-01

[10]

一种晶圆加热装置 [P].

武岩 ;

相宇阳 ;

俞胜武 ;

陈剑 .

中国专利 :CN221596393U ,2024-08-23

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