一种高效率加热的晶圆加热盘结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421413857.1

申请日：

2024-06-20

公开(公告)号：

CN222801752U

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

李翔姜小蛟邹云孙宁赵亢胡显冰

申请人：

沈阳富创精密设备股份有限公司

申请人地址：

110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路18甲-1号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

沈阳中科博诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21275

代理人：

崔红梅

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种铸造铝合金晶圆加热盘结构 [P].

李翔 ;

姜小蛟 ;

杨旭 ;

沙延鹏 ;

胡显冰 ;

刘昂 ;

刘欢 ;

安华 ;

王壮 .

中国专利 :CN223023236U ,2025-06-24

[2]

一种晶圆加热盘结构 [P].

李翔 ;

姜小姣 ;

孙宁 ;

赵亢 ;

邹云 ;

胡显冰 ;

侯占杰 ;

于志家 ;

安华 .

中国专利 :CN221930151U ,2024-10-29

[3]

一种晶圆均匀加热装置 [P].

徐同德 ;

谢东 .

中国专利 :CN222356568U ,2025-01-14

[4]

一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置 [P].

程孝龙 ;

张心仪 ;

程佳祎 ;

牛康民 ;

程钊 .

中国专利 :CN221897980U ,2024-10-25

[5]

一种具有高效率加热结构的电加热器 [P].

方剑 ;

王增 .

中国专利 :CN214228493U ,2021-09-17

[6]

高效率加热元件 [P].

孔令菁 ;

孔红兵 .

中国专利 :CN209419895U ,2019-09-20

[7]

一种高效率加热装置 [P].

潘君飞 ;

彭开勤 ;

李威 .

中国专利 :CN209136260U ,2019-07-23

[8]

高效率轴封加热器 [P].

李立楼 ;

穆绪勇 ;

顾正亮 .

中国专利 :CN210317407U ,2020-04-14

[9]

一种高效率的松香加热器 [P].

何群章 ;

吴水军 ;

洪则章 .

中国专利 :CN207340204U ,2018-05-08

[10]

一种高效率稳定加热器 [P].

赵广雷 ;

闫飞 ;

汤佳 .

中国专利 :CN221259117U ,2024-07-02

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