晶圆翘曲度的检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120893553.X

申请日：

2021-04-27

公开(公告)号：

CN214428601U

公开(公告)日：

2021-10-19

发明(设计)人：

卢盈郭伟曾旭

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市中新广州知识城九佛建设路333号自编701室（自主申报）

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

罗磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆翘曲度的检测装置 [P].

郭伟 ;

卢盈 ;

邓敏 ;

陶柳 .

中国专利 :CN218215206U ,2023-01-03

[2]

晶圆翘曲度检测装置及方法 [P].

许有超 ;

谭秀文 ;

苏亚青 .

中国专利 :CN112050719A ,2020-12-08

[3]

基于WET清洗机台的晶圆翘曲度检测装置 [P].

田宏瑞 ;

盖文超 .

中国专利 :CN222505348U ,2025-02-18

[4]

翘曲度检测装置 [P].

王亮平 ;

刘季超 ;

黎燕林 ;

肖倩 ;

陈跃 ;

胡志明 ;

徐妍 .

中国专利 :CN220339298U ,2024-01-12

[5]

翘曲度检测装置 [P].

李青 ;

李赫然 ;

张小军 ;

陈英 ;

郭志胜 ;

张克俭 ;

李刚 ;

张佳磊 .

中国专利 :CN216283307U ,2022-04-12

[6]

晶圆翘曲检测装置 [P].

田程 ;

请求不公布姓名 ;

李道东 ;

王议梅 .

中国专利 :CN222652165U ,2025-03-21

[7]

翘曲度检测装置 [P].

李青 ;

李赫然 ;

方红义 ;

林海峰 ;

翟星宇 ;

陈涛涛 ;

吴亚平 ;

董光明 ;

石志强 ;

李震 .

中国专利 :CN216558780U ,2022-05-17

[8]

晶圆翘曲度量测系统 [P].

彭杰 .

中国专利 :CN222481408U ,2025-02-14

[9]

板坯翘曲度检测装置 [P].

陈铎 ;

汪万根 ;

潘彪 ;

陈建宇 ;

王能旺 ;

刘顺东 ;

王莹 ;

马飞 .

中国专利 :CN203621411U ,2014-06-04

[10]

一种晶圆翘曲度测量装置 [P].

邱阳 ;

孙福广 ;

崔朋 .

中国专利 :CN222826357U ,2025-05-02

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