基于WET清洗机台的晶圆翘曲度检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420486354.0

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

CN222505348U

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

田宏瑞盖文超

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

G01B17/06

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆翘曲度的检测装置 [P].

卢盈 ;

郭伟 ;

曾旭 .

中国专利 :CN214428601U ,2021-10-19

[2]

晶圆清洗机台 [P].

杨志勇 ;

何永根 .

中国专利 :CN205845907U ,2016-12-28

[3]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

[4]

晶圆翘曲度的检测装置 [P].

郭伟 ;

卢盈 ;

邓敏 ;

陶柳 .

中国专利 :CN218215206U ,2023-01-03

[5]

晶圆清洗机台及其晶圆清洗方法 [P].

吕相林 .

中国专利 :CN110223944A ,2019-09-10

[6]

晶圆翘曲度检测装置及方法 [P].

许有超 ;

谭秀文 ;

苏亚青 .

中国专利 :CN112050719A ,2020-12-08

[7]

静电消除装置以及晶圆清洗机台 [P].

季文明 ;

李晓艳 ;

任树朝 .

中国专利 :CN223066129U ,2025-07-04

[8]

一种晶圆清洗机台 [P].

陈嘉勇 .

中国专利 :CN222071891U ,2024-11-26

[9]

一种晶圆清洗机台 [P].

袁林涛 ;

张文福 ;

高英哲 .

中国专利 :CN208014670U ,2018-10-26

[10]

晶圆翘曲检测装置 [P].

田程 ;

请求不公布姓名 ;

李道东 ;

王议梅 .

中国专利 :CN222652165U ,2025-03-21

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