晶圆取料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421141061.5

申请日：

2024-05-23

公开(公告)号：

CN222394789U

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

左国军董炳岩兰天蔡嘉雄

申请人：

创微微电子（常州）有限公司

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区黄河西路790号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

朱建霞

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆取料装置 [P].

康长乐 ;

罗永民 .

中国专利 :CN215118859U ,2021-12-10

[2]

一种晶圆取料装置 [P].

陈涛 ;

廖元辉 .

中国专利 :CN221928035U ,2024-10-29

[3]

一种晶圆取料装置 [P].

戎路祥 .

中国专利 :CN222966115U ,2025-06-10

[4]

一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置 [P].

梅华斌 ;

黄维铭 ;

宋瑞超 .

中国专利 :CN211569394U ,2020-09-25

[5]

激光加工晶圆取料移动结构 [P].

时文飞 ;

邢智聪 ;

朱擎宇 .

中国专利 :CN213531235U ,2021-06-25

[6]

取料装置及固晶机 [P].

王泉泉 ;

黄远南 ;

彭宇 .

中国专利 :CN212380392U ,2021-01-19

[7]

晶圆托取装置及晶圆托取设备 [P].

郝瀚 .

中国专利 :CN220895488U ,2024-05-03

[8]

晶圆取片器 [P].

刘宗超 .

中国专利 :CN204792750U ,2015-11-18

[9]

晶圆取片装置 [P].

肖宇 ;

岳湘 ;

易涛 .

中国专利 :CN210073799U ,2020-02-14

[10]

晶圆夹取装置 [P].

胡毅 ;

杨国运 .

中国专利 :CN222867663U ,2025-05-13

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