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一种晶圆取料装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420260159.6
申请日：
2024-02-02
公开(公告)号：
CN221928035U
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
陈涛
廖元辉
申请人：
深圳市蒙威智能科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝同路32号宝龙智造园4号厂房A栋801
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
广东创合知识产权代理有限公司 44690
代理人：
张卓思
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-29 | 授权 | 授权 |