一种晶圆取料结构

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020876918.3
申请日
2020-05-22
公开(公告)号
CN212485287U
公开(公告)日
2021-02-05
发明(设计)人
周李渊
申请人
申请人地址
519080 广东省珠海市高新区科技八路5号3栋(研发楼)5楼
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L21683
代理机构
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288
代理人
葛燕婷
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆取料结构 [P]. 
周李渊 .
中国专利 :CN111668144A ,2020-09-15
[2]
激光加工晶圆取料移动结构 [P]. 
时文飞 ;
邢智聪 ;
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[3]
一种晶圆镜片取料机构 [P]. 
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劳委炎 .
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[4]
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[5]
一种晶圆取料装置 [P]. 
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廖元辉 .
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[6]
一种晶圆取料装置 [P]. 
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[7]
晶圆取料装置 [P]. 
左国军 ;
董炳岩 ;
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[8]
晶圆取料装置 [P]. 
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[9]
晶圆取放结构 [P]. 
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林风元 .
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[10]
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