一种磁控溅射生产线机械传动装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920094602.2

申请日：

2009-10-29

公开(公告)号：

CN201530856U

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

杨继泽刘万学刘志才崔庆春孙学义马力斌强艳建杜宏荀

申请人：

申请人地址：

136001 吉林省四平市烟厂路1118号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

H01L3118 H01J3702 H01J3734

代理机构：

吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204

代理人：

石岱

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-22	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20091029 授权公告日:20100721
2010-07-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种等离子体化学气相沉积生产线机械传动装置 [P].

杨继泽 ;

刘万学 ;

刘志才 ;

崔庆春 ;

孙学义 ;

马力斌 ;

强艳建 ;

杜宏荀 .

中国专利 :CN201538815U ,2010-08-04

[2]

一种磁控溅射传动装置及磁控溅射设备 [P].

曹峻峰 ;

张伟建 ;

王星辰 ;

狄贺 ;

凡伟伟 ;

陆黎华 .

中国专利 :CN220300836U ,2024-01-05

[3]

机械传动装置 [P].

张利宏 ;

刘浩然 ;

刘忠舍 ;

刘丽娟 ;

于日深 ;

燕生 ;

张旭东 ;

刘晓峰 .

中国专利 :CN206802233U ,2017-12-26

[4]

机械传动装置 [P].

陈文来 .

中国专利 :CN201215166Y ,2009-04-01

[5]

机械传动装置 [P].

董峰 ;

田建龙 ;

李强 ;

苏庆学 ;

李庆梅 .

中国专利 :CN213592458U ,2021-07-02

[6]

机械传动装置 [P].

施爱龙 .

中国专利 :CN2839738Y ,2006-11-22

[7]

机械传动装置 [P].

吴宣昊 ;

李俊彦 ;

徐祖峰 .

中国专利 :CN209041474U ,2019-06-28

[8]

一种机械传动装置 [P].

郝海涛 .

中国专利 :CN209743518U ,2019-12-06

[9]

一种机械传动装置 [P].

宗海峰 .

中国专利 :CN2167240Y ,1994-06-01

[10]

一种机械传动装置 [P].

彭正兴 .

中国专利 :CN210423618U ,2020-04-28

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