闸阀和基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410437458.3

申请日：

2014-08-29

公开(公告)号：

CN104514891B

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

田中诚治出口新悟

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

F16K100

IPC分类号：

F16K136 F16K142 F16K146 F16K11044 F16K5102 H01L2167

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633337776 IPC(主分类):F16K 1/00 专利申请号:2014104374583 申请日:20140829
2015-04-15	公开	公开
2019-04-16	授权	授权

共 50 条

[1]

闸阀和基板处理装置以及基板处理方法 [P].

星野好文 ;

铃木海斗 ;

大泉行雄 .

日本专利 :CN117628207A ,2024-03-01

[2]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

森川胜洋 ;

饱本正巳 .

日本专利 :CN111755358B ,2025-03-21

[3]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

森川胜洋 ;

饱本正巳 .

中国专利 :CN111755358A ,2020-10-09

[4]

闸阀装置和具备该闸阀装置的基板处理装置 [P].

广木勤 ;

能势正章 ;

松下正直 ;

西场健博 .

中国专利 :CN102378873A ,2012-03-14

[5]

光处理装置和基板处理装置 [P].

守屋光彦 ;

友野胜 ;

嶋田谅 ;

早川诚 ;

永原诚司 .

中国专利 :CN108227398A ,2018-06-29

[6]

闸阀及使用该闸阀的基板处理装置 [P].

远藤健一 .

中国专利 :CN102147019A ,2011-08-10

[7]

闸阀以及使用该闸阀的基板处理装置 [P].

若森勤 .

中国专利 :CN101408249A ,2009-04-15

[8]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

池田朋生 ;

日高章一郎 .

日本专利 :CN110783228B ,2024-07-30

[9]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

方济午 ;

安迎曙 ;

李承汉 ;

李承桓 ;

金铉玟 .

中国专利 :CN114446825A ,2022-05-06

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

田边万奈 ;

高居康介 ;

增井健二 ;

梅泽华织 .

日本专利 :CN111696884B ,2024-01-16

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