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使用牺牲源极/漏极层的增大的晶体管源极/漏极接触面积
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910457277.X
申请日：
2019-05-29
公开(公告)号：
CN110660739A
公开(公告)日：
2020-01-07
发明(设计)人：
D·M·克鲁姆
B·古哈
W·许
S·M·塞亚
T·加尼
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚
IPC主分类号：
H01L218234
IPC分类号：
H01L27088
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
韩宏;陈松涛
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/8234 申请日:20190529 |
| 2020-01-07 | 公开 | 公开 |