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一种新型高强度LPCVD气体喷嘴
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122028929.3
申请日：
2021-08-26
公开(公告)号：
CN215628284U
公开(公告)日：
2022-01-25
发明(设计)人：
戚定定
申请人：
申请人地址：
311201 浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266
代理人：
沈相权
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-25 | 授权 | 授权 |