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一种半导体设备用过滤板
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201720407390.3
申请日：
2017-04-18
公开(公告)号：
CN206730701U
公开(公告)日：
2017-12-12
发明(设计)人：
郑隆梁
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区小昆山镇中德路860号7幢-2
IPC主分类号：
B01D4600
IPC分类号：
B01D4610
B01D4642
代理机构：
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人：
冯子玲
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 46/00 申请日:20170418 授权公告日:20171212 终止日期:20200418 |
| 2017-12-12 | 授权 | 授权 |