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一种半导体设备用进气装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422661277.0
申请日：
2024-10-31
公开(公告)号：
CN223318181U
公开(公告)日：
2025-09-09
发明(设计)人：
翟硕彦
申请人：
江苏天芯微半导体设备有限公司
申请人地址：
214111 江苏省无锡市新吴区新梅路58号
IPC主分类号：
F15D1/00
IPC分类号：
H01L21/67
H01J37/32
F16J15/06
B25B27/14
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
朱成之
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-09 | 授权 | 授权 |