一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911219323.9

申请日：

2019-12-03

公开(公告)号：

CN111218673A

公开(公告)日：

2020-06-02

发明(设计)人：

杜敬良庄艳金礼发黄国平李菁楠

申请人：

申请人地址：

212132 江苏省镇江市新区北山路9号

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C1634 C23C16455 C23C1652 H01L3118

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

王恒静

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	公开	公开
2020-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/50 申请日:20191203

共 50 条

[1]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[2]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[3]

用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金井升 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN104282604A ,2015-01-14

[4]

用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金井升 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN204130510U ,2015-01-28

[5]

一种石墨舟的预处理方法及镀膜石墨舟 [P].

张浩 ;

汪振鲁 ;

任园园 ;

孙向阳 .

中国专利 :CN120350354A ,2025-07-22

[6]

一种石墨舟饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨舟 [P].

沈磊磊 ;

董敬桃 ;

丁建明 ;

崔钟亨 .

中国专利 :CN107564844A ,2018-01-09

[7]

一种硅片电池镀膜用石墨舟片、石墨舟及镀膜方法 [P].

王鹏 ;

何秋霞 ;

马擎天 .

中国专利 :CN113078235A ,2021-07-06

[8]

一种硅片电池镀膜用石墨舟片、石墨舟及镀膜方法 [P].

王鹏 ;

何秋霞 ;

马擎天 .

中国专利 :CN113078235B ,2025-03-18

[9]

一种石墨舟及镀膜设备 [P].

王树林 ;

杨震 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN119786403A ,2025-04-08

[10]

一种石墨舟及镀膜系统 [P].

陈森 ;

杨龙 ;

李广旭 ;

刘德茂 .

中国专利 :CN222557058U ,2025-03-04

← 1 2 3 4 5 →