一种用于聚对二甲苯真空沉积系统的耐高温密封结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022022334.2

申请日：

2020-09-16

公开(公告)号：

CN213206874U

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

杨宏武李洪王军

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道重庆路安达工业厂区2栋5楼

IPC主分类号：

F16L2316

IPC分类号：

F16L2318 F16L5370 F16L5375 C23C1644

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司 44218

代理人：

胡坚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202913057U ,2013-05-01

[2]

聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202543315U ,2012-11-21

[3]

一种便于联结的聚对二甲苯卧式真空沉积系统结构 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213203191U ,2021-05-14

[4]

一种聚对二甲苯真空沉积使用的腔室滚筒 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213435400U ,2021-06-15

[5]

聚对二甲苯卧式沉积系统新工装结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202347095U ,2012-07-25

[6]

用于聚对二甲苯的均匀薄膜沉积 [P].

阿曼达·里克曼 ;

詹姆斯·R·史密斯 .

中国专利 :CN112055623A ,2020-12-08

[7]

一种聚对二甲苯沉积使用的真空度测量装置 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213956657U ,2021-08-13

[8]

聚对二甲苯卧式沉积系统新腔室滚筒复合结构 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN202337818U ,2012-07-18

[9]

薄的聚对二甲苯的可靠沉积 [P].

戴聿昌 ;

王玮 ;

康冬阳 .

中国专利 :CN108431151A ,2018-08-21

[10]

一种聚对二甲苯卧式沉积腔室滚筒的复合结构 [P].

杨宏武 ;

李洪 ;

王军 .

中国专利 :CN213435436U ,2021-06-15

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